Em equipamentos de manuseio de wafers, guias lineares são usadas para posicionar e transferir wafers semicondutores com precisão em vários estágios do processo de fabricação. A precisão exigida neste equipamento é alta, com tolerâncias muitas vezes na faixa submicrométrica.
Os sistemas de inspeção de wafer também usam guias lineares para fornecer movimento preciso e suave das ferramentas de inspeção, permitindo medições de alta precisão e detecção de defeitos na superfície do wafer.
O equipamento de fotolitografia, que é usado no processo de fabricação de semicondutores para padronizar a superfície dos wafers, também requer guias lineares de alta precisão para garantir o posicionamento preciso do wafer e a exposição do padrão.
Na indústria de semicondutores, as guias lineares são usadas por sua excelente precisão, alta rigidez e baixo atrito. Essas propriedades permitem que o equipamento opere com alta precisão e repetibilidade, levando a resultados de fabricação de alta qualidade. Com a crescente demanda por miniaturização e alto desempenho de dispositivos eletrônicos, espera-se que a necessidade de guias lineares na indústria de semicondutores continue a crescer.
+8615622924499
+8615622924499
